深紫外窒化物系発光デバイス 流量変調成長法を用い生成した AlGaN 多重量子井戸構造 光励起式 波長 241.5 nm 深紫色レーザー発振 内部量子効率の向上のためには， 活性層への電子の注入効率を高め， かつ注入電子の輻射性再結合過程を増やし， 非輻射性再結…