有機金属気相成長法 有機金属気相成長法 *1 は、原料として有機金属やガスを用いた結晶成長方法、及びその装置である。結晶成長という観点を重視して MOVPE *2 とも言う。 化合物半導体結晶を作製するのに用いられ、MOCVDでは原子層オーダで膜厚を制御するこ…